油擴散泵(bèng)抽氣系統的*缺(que)點是油蒸汽的(de)污染。
系統中污(wū)染物的主要來(lái)源如下：
(1)擴散泵(beng)油蒸汽的返流(liú)。這是最重大的(de)污染源。
(2)系統中(zhōng)的零部件，在裝(zhuāng)配時用有油的(de)手拿。用有油污(wu)的手套拿，這樣(yang)粘染的有機分(fèn)子可以造成系(xì)統内的污染。
(3)前(qian)級油封機械泵(bèng)油的返流。這個(gè)問題也很嚴重(zhong)，當入口壓力較(jiao)高時，在達到過(guò)渡區(1～10-1Pa)壓力時，機(jī)械泵的油蒸汽(qì)即可直接進入(ru)擴散泵内，對系(xì)統直接進行污(wu)染。很多真空工(gōng)藝過程的污染(ran)來自機械泵返(fan)油。當停機械泵(beng)時如不及時向(xiang)泵内放大氣，機(jī)械泵油可直接(jie)返到擴散泵油(you)鍋内。當擴散泵(beng)起動時對系統(tong)的污染更為嚴(yan)重。
(4)抽氣系統中(zhong)密封材料的放(fang)氣造成的污染(rǎn)。特别是人造橡(xiang)膠密封圈，密封(feng)油脂，潤滑油等(deng)，也同樣造成嚴(yán)重的污染。
(5)當停(tíng)泵後放大氣時(shí)，使真空零部件(jiàn)在空氣中粘污(wū)上水蒸汽，油煙(yan)等，造成對真空(kōng)系統的污染。
消(xiao)除系統油蒸氣(qi)返流的具體措(cuò)施為：
(1)加大擴散(san)泵的啟動功率(lü)來縮短機械泵(beng)與擴散泵切換(huàn)時的壓力過渡(dù)區。
(2)通過改變系(xi)統操作工藝和(hé)用閥門來避開(kāi)返流危險區（切(qie)換過渡區）。例如(rú)，可使一個按照(zhào)預定速度開啟(qi)的高真空閥，逐(zhú)漸地開啟它，保(bǎo)證進入擴散泵(beng)的氣體流量低(di)于它的*排氣量(liang)，并且又使機械(xiè)泵抽速保證擴(kuò)散泵前級壓力(lì)，以使擴散泵能(néng)樹立工作。這樣(yàng)就能避開過渡(dù)區的出現。
(3)改善(shàn)操作工藝，将擴(kuo)散泵的加熱功(gōng)率調至*功率，避(bi)免出現泵油爆(bào)沸現象；一般擴(kuò)散泵在加熱開(kai)始和關閉過程(chéng)中，返流将出現(xian)峰值，所以可用(yòng)泵口處的高真(zhen)空閥門來控制(zhì)避免返流。
(4)在擴(kuò)散泵入口處加(jia)裝液氫冷阱或(huo)吸附阱來捕集(jí)返流油蒸氣。
(5)選(xuǎn)用*的擴散泵工(gong)作液。